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第29章 第29章 光源的涅槃(秀秀)

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“梯度下降。”秀秀看着沮丧的团队成员,只说了这四个字。众人愣了一下,随即明白了她的意思。没有抱怨,没有气馁,拆解,分析失败原因,调整装配工艺,重新再来。

当第二个“涅槃-1”镜座总成被小心翼翼地安装进“烛龙”的真空腔体,当所有的线路和冷却管路连接完毕,当控制系统完成最后的联调,时间已经又过去了两周。进行最终测试的那个夜晚,实验室里挤满了人,连一些已经下班的技术员也闻讯赶了回来,安静地站在外围。空气中弥漫着一种近乎神圣的庄重感。

秀秀站在主控台前,深深吸了一口气,她的手指因为紧张而微微颤抖,但落在启动按钮上时,却异常稳定。她按下了按钮。

低沉的嗡鸣声响起,真空泵开始工作,将腔体内的空气一丝丝抽离。冷却系统启动,预先注入的低温冷却液在微型泵的驱动下开始循环。光源系统预热,数据采集系统准备就绪。

“真空度达到设定值。”

“冷却液流量稳定。”

“光源准备就绪。”

秀秀看了一眼王工,王工重重地点了下头。她下达了指令:“开始提升功率。阶梯式上升,二十瓦为一个台阶,每个台阶稳定五分钟。”

“功率二十瓦……系统参数正常。”

“功率四十瓦……正常。”

“功率六十瓦……正常。”

……

功率在稳步提升,监控屏幕上代表镜面温度和形变的曲线,如同被驯服的野马,始终在绿色的安全区域内平稳运行。之前那条令人绝望的红色曲线,消失了。

“功率一百二十瓦!”这是之前失败的临界点。所有人的心都提到了嗓子眼。屏幕上的曲线轻微波动了一下,但迅速被控制系统调整平稳。温度稳定,形变数据牢牢控制在预警线以下。

“功率一百四十瓦!”

“功率一百六十瓦!”

……

实验室里开始出现压抑着的兴奋的呼吸声。

“功率一百八十瓦!”秀秀报出了这个梦寐以求的数字,声音带着一丝不易察觉的哽咽。

稳定!所有的参数都稳定!热成像仪显示镜座表面温度分布均匀,没有出现预想中的热点。高精度干涉仪实时测量的镜面形变数据,显示其峰谷值被成功压制在零点三个纳米以内!

“主动补偿系统工作正常!促动器阵列正在根据模型预测和反馈进行实时微调!”控制工程师激动地报告。

成功了。

没有欢呼,没有雀跃,实验室里陷入了一种奇异的寂静。所有人都仿佛被抽空了力气,又像是被巨大的幸福击中,一时无法反应。几位老工程师偷偷转过身,抹去眼角的湿润。王工一屁股坐在椅子上,长长地出了一口气,仿佛要把这几个月积压的疲惫和焦虑都吐出来。

秀秀依然站在那里,一动不动地看着监控屏幕。屏幕上,那条代表光源功率的曲线,平稳地维持在一百八十瓦的高度,像一座终于被征服的山峰。她感到一种前所未有的虚脱,紧接着,是如同潮水般涌来的巨大成就感和解脱感。她做到了,团队做到了。他们不仅解决了镜面热变形的问题,更重要的是,他们掌握了一套强大的研发方法论——基于多物理场耦合仿真的精准设计与优化。这盏EUV之光,在濒临熄灭之后,终于迎来了属于自己的涅槃。

她下意识地握紧了口袋里的手机,屏幕上,是墨子刚刚发来的两个字:“恭喜。”简单的两个字,却像一把钥匙,瞬间打开了她心中那道情感的闸门。依赖感、信任感,或许还有一些更深沉、更复杂的情感,在这一刻汹涌而出,几乎让她站立不稳。她抬起头,努力不让眼眶里的湿润汇聚滑落,目光穿过实验室的观察窗,仿佛要望向那片支撑着她走过至暗时刻的、远在陆家嘴的金融星空。光源的涅槃,何尝不是她个人信念与情感的一次淬炼与重生。

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