争论的声音渐渐平息,所有人都将目光投向了始终沉默的秀秀。会议室里只剩下空调系统低沉的运行声。几位老院士也看着她,目光中有关切,有期待,也有审视。
秀秀缓缓抬起头,目光扫过在场每一张或焦虑、或急切、或沉思的面孔。她深吸一口气,声音清晰而平稳,却带着不容置疑的力量,在寂静的会议室里回荡。
“感谢各位老师的坦诚交流和深入分析。两条路线的优劣,已经非常清晰。”她停顿了一下,仿佛在最后确认自己内心的答案,“我决定,我们的EUV光源研发,将坚定不移地走**LPP路线**。”
话音刚落,会议室里响起一阵轻微的骚动。支持DPP路线的专家们脸上难掩失望,而支持LPP的年轻人们则露出了振奋的神情。
秀秀抬起手,示意大家安静,继续说道:“我理解陈教授和各位对DPP路线快速突破的期待,也深知其结构相对简单可能带来的初期优势。但是,我们必须清醒地认识到,**DPP路线的‘简单’,是以牺牲性能天花板和长期可靠性为代价的。** 碎屑问题和功率瓶颈,是根植于其物理机理的‘原罪’,难以根治。我们投入巨资和人力,目标不是为了制造一台‘能用’的EUV光刻机,而是为了打造一台能够参与全球顶尖竞争、甚至在未来实现引领的EUV光刻机!”
她的声音逐渐提高,带着一种技术领袖特有的、基于深刻洞察的魄力:“LPP路线,系统确实复杂,挑战巨大。但这正是它的价值所在!攻克这些挑战,意味着我们将掌握从高端激光技术、精密靶材技术、等离子体控制到超洁净光学处理等一系列核心能力。这个过程,会极大地锻炼我们的团队,夯实我们的技术根基。这就像攀登珠穆朗玛峰,选择南坡(LPP)虽然路线更陡峭、更危险,但它是登顶的主流路线,拥有更完善的支撑和更清晰的登顶路径;而北坡(DPP)看似在某些地段可能好走一些,但最终可能会遇到无法逾越的冰壁(物理极限)。”
她走到幕布前,指着LPP复杂的系统图,眼神灼灼:“这套系统,每一个子系统都是一座需要攻克的技术山头。驱动激光器,我们要做!锡滴发生器,我们要做!碎屑 mitigation 系统,我们要做!高功率下的收集镜热管理,我们也要做!我知道这很难,非常难。但请大家想一想,我们回国,我们聚集在这里,是为了什么?不就是为了攻克这些最难的技术堡垒,让中国在半导体产业的最高舞台上,拥有属于我们自己的、响亮的声音吗?”
她的话语,像重锤一样敲击在每个人的心上。那些原本有些犹豫和担忧的人,眼神也逐渐变得坚定起来。秀秀没有回避困难,而是将困难赤裸裸地摆在面前,并将其转化为必须征服的目标。
“选择LPP,意味着我们选择了最艰难的道路,但也选择了最高的天花板和最广阔的未来。”秀秀的目光再次扫过全场,语气变得沉凝而充满信任,“我知道,在座的每一位,都怀揣着同样的梦想和报国之志。前路必然荆棘密布,我们会遭遇无数次失败,会承受难以想象的压力。但我相信,只要我们目标一致,齐心协力,就没有攻克不了的难关!这条更艰难的路,我秀秀,会走在最前面。我需要你们,和我一起,把这条路走通,走下去!”
没有慷慨激昂的口号,只有冷静的分析、坚定的选择和沉甸甸的信任。这一刻,秀秀身上散发出的,不再仅仅是顶尖科学家的睿智,更是一位技术统帅在关键时刻敢于决断、勇于担当的魄力与魅力。
会议室里陷入了短暂的沉默,随即,不知是谁率先鼓起了掌,紧接着,掌声由疏到密,最终汇成一片热烈而持久的声浪。无论是之前支持哪条路线的人,都在秀秀这番掷地有声的论述中,统一了思想,凝聚了共识。
陈教授也缓缓地鼓着掌,他看着秀秀,眼中最初的失望已经化为理解和赞许,他点了点头,轻声自语:“后生可畏啊……或许,这才是真正有魄力的选择。”
秀秀看着重新凝聚起来的团队,心中一块巨石稍稍落下。她知道,这仅仅是万里长征的第一步,真正的艰难险阻还在后面。但方向已经明确,队伍已经集结。她将带领这支团队,义无反顾地踏上攀登LPP这座险峰的征途。
她回到座位,在笔记本上,用力地写下了“LPP路线——最终决策”几个字,并在旁边画了一个小小的、却无比坚定的箭头,直指前方。那是光的方向,也是她和她团队,必须用智慧和汗水去征服的方向。