“化学机械抛光CMP的雏形！”陆向真激动地对林翰民说，“虽然还很粗糙，但原理是相通的！我们完全可以利用这个原理，开发我们自己的表面处理工艺！”

这个意外的发现，如同在黑暗的隧道中凿开了一丝缝隙，透进了光亮。它虽然不能解决晶体内部所有的本征缺陷，却极大地改善了硅片的“表面质量”，为后续制造器件提供了一个更完美的“衬底”。

团队士气大振。

在此基础上，他们继续深挖。

林翰民带领理论组加紧建立更完善的晶体生长模型；陆向真和王世钧团队则对单晶炉进行了又一次大刀阔斧的改进，特别是优化了磁场发生装置，使其能提供更稳定、更均匀的轴向磁场；何沁的检测手段也愈发精细，能更快更准确地反馈工艺效果。

功夫不负有心人。

当第六十七炉硅棒被缓缓拉出时，所有参与者的心中都隐隐有了一种预感。

那根硅棒呈现出一种均匀一致的灰黑色，表面光洁度肉眼可见地提高了。经过漫长的冷却、取出、切割、抛光以及那套新开发的“表面处理”后，最终的硅片在检测灯下，反射出一种纯净、均匀、略带金属光泽的质感。

检测数据出来的那一刻，整个实验室鸦雀无声，随即爆发出震耳欲聋的欢呼声！

位错密度：＜100/cm?！

电阻率均匀性：偏差＜5%！

少数载流子寿命：大幅提升！

关键电学参数，首次全面达到了设计指标！虽然距离国际最顶尖水平仍有差距，但这意味着，他们拉制出了第一根真正“可用”的、具备实用价值的区熔单晶硅棒！

“成功了！我们成功了！”年轻人激动地跳起来，互相拥抱，有人甚至喜极而泣。王世钧这个硬汉子也红了眼眶，用力捶打着墙壁。何沁拿着检测报告，手微微颤抖，脸上是难以置信的喜悦。

林翰民长长地舒了一口气，摘掉眼镜，揉了揉发酸的眼睛，嘴角露出了欣慰的笑容。

向真站在人群中央，看着那一张张洋溢着激动和自豪的年轻面孔，看着那根凝聚了无数心血的硅棒，眼眶微微发热。

她接过何沁手中的报告，仔仔细细地看着上面的每一个数据，仿佛要将它们刻进心里。

良久，她抬起头，声音因激动而略带沙哑，却清晰无比地传到每个人耳中：“同志们，这是我们迈向自力更生的第一步，坚实的一步！但这不是终点，而是新的起点！我们要用它，造出我们中国人自己的高质量半导体器件！”

这标志性的突破，极大地鼓舞了士气，也证明了自主研制路线的可行性。上级部门发来了贺电，并拨付了更多资源。研究所的工作重心，开始从单纯的晶体生长，向更上游的“高纯多晶硅原料制备”和更下游的“器件工艺验证”延伸。

高纯多晶硅是拉制单晶硅的基础原料，其纯度直接决定了单晶硅的质量上限。

当时国内能提供的工业硅粉纯度远远不够，严重依赖进口且价格高昂，还时有时无。

“必须把源头掌握在自己手里！”向真在会议上斩钉截铁地说，“我们不能让人卡着脖子搞研究！”

攻克高纯多晶硅的任务，主要落在了王世钧和一批新分配来的化工专业大学生肩上。

工艺流程极其复杂：首先要将工业硅粉氯化生成粗三氯氢硅，然后经过一系列精密的多级精馏提纯，去除硼、磷、碳等关键杂质，最后在高温还原炉内，用高纯氢气还原得到高纯多晶硅棒。

每一个环节都充满了挑战。氯化过程剧烈且产生腐蚀性气体；精馏塔的设计、填料和控温要求极高，对硼、磷等杂质的分馏系数必须计算得极其精确；还原炉更是核心设备，涉及高温、高压、密封和材料耐腐蚀等诸多难题。

王世钧拿出了当年在西北搞锆合金管的劲头，带着一帮年轻人没日没夜地泡在实验室和临时搭建的中试车间里。

反应釜炸过，精馏塔堵过，还原炉因为密封问题漏过气……险情不断，挫折重重。

但没有人退缩。

陆向真为他们提供了最大的支持，协调资源，邀请化工厂的老师傅来会诊，甚至亲自上阵计算精馏塔的理论塔板数。沈屹则从规划层面，将高纯多晶硅的研制列入重点项目，优先保障特种钢材和稀缺化学试剂的供应。

经过一年多的艰苦攻关，经历了无数次爆炸、泄漏和失败后，一套能够稳定运行的小型闭合循环示范装置终于建成。

当第一炉银光闪闪、结构致密的高纯多晶硅棒在还原炉中成功沉积出来时，王世钧和团队成员们激动得说不出话来。

经检测，其纯度达到了惊人的99.9999%（6个9）以上，关键杂质含量显著低于进口产品！

消息传回研究所，再次引起轰动。

这意味着他们从根本上解决了“粮食”问题，不再受制于人！

与此同时，单晶硅的制备工艺也在持续优化。