这是里程碑式的突破!
它标志着共和国自主掌握的硅材料技术,终于迈过了4英寸的门槛,初步具备了支撑微米级集成电路制造的能力。
“关键辅助材料的攻关”同样是一场艰苦的战役。
陆向真深知,没有高纯的光刻胶、超纯的化学试剂、电子级的气体和靶材,即使有了高质量的硅片,也造不出先进的芯片。这些辅助材料种类繁多,技术要求极高,长期被国外大公司垄断,价格昂贵且供应受限。
她抽调精干力量,组建了多个专项组。
“光刻胶组”由一位新引进的高分子化学博士负责,在原有环化橡胶体系的基础上,开始向更先进的正性光刻胶进军。
这涉及到全新的感光机理、树脂合成、配方优化,难度极大。
实验室里充满了各种化学试剂的味道,研究人员需要反复调整配方,进行涂胶、曝光、显影测试,然后在显微镜下一点点对比线条分辨率、对比度、抗刻蚀性能。
失败是家常便饭,常常因为一个微小的杂质或者配比不当,就导致整批实验失败。
“超纯化学试剂组”则与化工部门合作,重点攻关电子级硫酸、□□、双氧水等。
超纯意味着杂质含量要达到ppb(十亿分之一)甚至ppt(万亿分之一)级别,对生产工艺、容器材质、环境控制提出了近乎苛刻的要求。
王世钧带着人几乎住在了合作工厂,改造设备,优化流程,建立超高纯度的检测分析方法。
“电子气体和靶材组”也同步启动,虽然基础更薄弱,但也开始了艰难的探索。
每一类材料的突破,背后都是无数个日夜的奋战、无数次的失败重来。
经费紧张,设备简陋,但他们硬是凭着一股韧劲,一点点啃下了这些硬骨头。
当第一批性能基本达标的正性光刻胶样品下线,当超纯□□的杂质含量首次达到设计指标时,所带来的成就感是无与伦比的。
它们或许暂时还无法与进口顶级产品媲美,但意味着共和国在半导体材料领域迈出了更完整、更坚实的一步。
“新型功能材料的探索”也在陆向真的布局下悄然展开。
她始终保持着对国际科技前沿的高度敏感。
当国际上化合物半导体——如砷化镓、超导材料、激光晶体等研究兴起时,她意识到这些可能是未来信息技术、能源技术、国防技术的制高点。
她在研究所内成立了“新材料探索研究室”,虽然规模不大,经费有限,但给予了研究人员较大的自由探索空间。
一些富有想象力的年轻人在这个平台上,开始接触和研究这些新奇的材料,为研究所乃至国家的未来进行技术储备。
在此期间,研究所的“学术地位”也日益提升。
陆向真作为国内半导体材料领域的开拓者和领军人物,先后担任了中国科学院学部委员、中国材料研究学会副理事长、国家自然科学基金委员会材料学科评审组组长等重要学术职务。
她主持召开了多次全国性的半导体材料学术会议,推动学科交流与发展。由她主编的《半导体材料科学与技术》丛书,成为了该领域的经典著作,影响了一代学子。
她尤其重视人才培养。她亲自招收和指导博士、硕士研究生,对学生要求极其严格,但又毫无保留地传授知识、提供机会。
她常对学生说:“搞科研,没有捷径可走,就是要坐得住冷板凳,下得了苦功夫。但同时,眼界要开阔,思路要活跃,要敢于想别人不敢想,做别人不敢做。”
她培养的学生,很多后来都成为了国内高校、科研院所和企业的技术骨干,是真正的“桃李满天下”。
而沈屹的工作重心则更多地转向了国家层面的战略谋划。
他深度参与了国家“高技术研究发展计划”(即“863”计划)的策划与论证工作,负责材料技术领域的专项规划。
他高瞻远瞩,强调材料创新的先导性和基础性,推动将新型信息功能材料、高性能结构材料、新能源材料等列为重点发展方向。他利用日益增多的国际交流机会,有限度地推动合作,但始终坚持“以我为主,互利共赢”的原则,时刻警惕技术保护,确保国家利益。
他的视野宏阔,决策果断,又有着丰富的基层实践经验和对技术前沿的深刻理解,使得他在规划岗位上如鱼得水,得到了上下的一致认可。
多年耕耘,政绩卓著,他逐步晋升,最终官至副国级领导岗位,并被授予相应的将军军衔,肩负起为国家科技发展和国防现代化建设擘画蓝图的重任。
尽管职位越来越高,工作越来越忙,沈屹对陆向真的支持与守护却从未改变。他理解她工作的价值和意义,尽己所能为她创造相对宽松的科研环境,在她遇到困难和挫折时给予最坚定的精神支持。
他们是夫妻,是战友,更是彼此最坚实的依靠。
每晚灯下,即使各自忙碌,一个眼神交汇,一杯热茶传递,便能消解一天的疲惫。
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中科院新材料研究所在陆向真的带领下,已不仅在半导体硅材料领域稳居国内头把交椅,更根据国家战略需求,将研究触角延伸至一系列关乎国计民生和国防安全的关键新材料领域。
一天,一封来自航空工业部门的加急公函,被直接送到了中科院新材料研究所所长陆向真的办公桌上。